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半导体

我们帮助您在您的晶圆制造达到下一个节点工艺

当今的半导体工艺面临极高的可靠性和良率预期。 您需要确保工艺纯度和设备可用性达到您的期望。空气产品公司致力于成为全球半导体制造商首选合作伙伴。 我们提供一系列超高纯度载气,设备及服务,可帮助您实现高标准、稳定可靠的半导体制造工艺。

全球领先的半导体行业气体供应商

我们的产品,设备和服务核心能力包括:

  • 多种供应模式,包括现场生产,大宗供应和 Microbulk 供应
  • 超高纯度载气,包括氮气,氧气,氢气,氦气和氩气
  • 超高纯度工艺气体,稀有气体及混合气体
  • 设计,制造和安装所有相关设备
  • 按时满足需求的出色记录
  • 全球安全记录最佳的化工企业之一

气体

Air Products 通常以气态和液态形式供应工业气体,可让各行各业的客户提高其环保性,产品质量和生产率。

氩气

得益于我们的存储和充装设施网络,我们以各种纯度和各种供应模式供应压缩氩气和液氩。

氦气

一种惰性气体,适用于低温,热传递,保护,检漏,分析及提升应用

氢气

因其具有反应性和保护性,许多行业如电子,食品,玻璃,化学品,精炼等都受益于其独特的性质来改善品质,优化性能并降低成本。

氮气

可用作惰性气体,也可用作冷却和冷冻液体。 几乎任何行业都可以受益于其独特的性质来提高产量,优化性能并提高运营安全性。

氧气

除了用作医疗保健应用中的呼吸气体外,它的强氧化性还使许多行业受益,如提高产量,优化性能,降低成本以及减少碳足迹。

稀有气体

可用作离子束源,用于清洁,切割或焊接材料,以及能以激光或光源的形式产生独特的强光。 也可用在推进发动机或窗户隔热材料中。

特种气体

超高纯度气体,工艺,校准和 ISO17025认证混合气体,适用于多种供气模式。

氙气回收

  • 氙气是一种高价值材料,可以回收,纯化后再利用
  • 氙气回收是 Air Products 专有/专利技术,旨在从半导体晶圆厂的工艺废气中回收氙气
  • 利用 Air Products 吸附技术经验开发概念
  • 在客户现场操作和维护

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咨询专家

“能否为我的半导体晶圆厂提供合适的气体纯化系统指导?”
没有一种系统可以一次纯化您的所有工艺气体。 根据需要纯化的气体,必须去除的杂质,气体流量和所需的最终纯度,有各种类型的纯化器可供选择,既有大型背板系统,也有小型使用点系统。 我们可以根据您的要求协助您确定正确的系统。

任何疑问? 我们提供了答案。

我们的专家随时为您服务。 立即预订免费咨询!

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